◆ 可配置多種真空接口，便于拓展。
◆ 可配置成無(wú)油真空系統(tǒng)。
◆ 抽速穩(wěn)定，可用于多種工況。
◆ 可單獨(dú)移動(dòng)，方便操作。
◆ 具有手動(dòng)、自動(dòng)功能。
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始建于1959年
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| 型號(hào) | 機(jī)組穩(wěn)定抽速（L/S） | 空載極限真空（Pa） | 分子泵型號(hào) | 前級(jí)泵 | 機(jī)組尺寸（mm，不含羅茨泵） |
| FJ1500 | 1500 | 9×10-5 | F-250/1500 | 干泵或旋片泵（可配羅茨泵） | 1000×600×1500 |
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