工藝過程裝備

FJ 系列單抽口分子泵機(jī)組--FJ3500分子泵機(jī)組
◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。
◆ 可配置成無油真空系統(tǒng)。抽速穩(wěn)定,可用于多種工況。
◆ 可單獨移動,方便操作。
◆ 具有手動、自動功能。

性能指標(biāo)

型號

機(jī)組穩(wěn)定抽速(L/S)

空載極限真空(Pa)

分子泵型號

前級泵

機(jī)組尺寸(mm,不含羅茨泵)

FJ3500

3500

9×10-5 

F-400/3500

干泵或旋片泵(可配羅茨泵)

1100×600×1600


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