◆ 可配置多種真空接口，便于拓展。
◆ 可配置成無油真空系統。抽速穩(wěn)定，可用于多種工況。
◆ 可單獨移動，方便操作。具有手動、自動功能。
| 型號 | 機組穩(wěn)定抽速（L/S） | 空載極限真空（Pa） | 分子泵型號 | 前級泵 | 機組尺寸（mm，不含羅茨泵） |
| FJ620 | 620 | 9×10-5 | FF-160/620 | 干泵或旋片泵 | 650×550×1200 |
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