主要特點：模塊設計，易于安裝體積小巧；自動化高，一鍵啟動運行；功能性強，支持多種靶材鍍膜；穩(wěn)定性好，高效成膜質(zhì)量可靠。
真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；
濺射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；
樣品臺：帶1個Φ50mm樣品臺和7個Φ13mm 掃描電鏡樣品杯，電動旋轉(zhuǎn)。
創(chuàng)新·誠信·高效
始建于1959年
始建于1959年
外型尺寸：430mm(L)×355mm(W)×390mm(H)
中國真空領(lǐng)域具有核心競爭力的高技術(shù)企業(yè)
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