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工藝過程裝備

FLAG系列磁控濺射系統
◆FLAG系列磁控濺射系統通過共焦超高真空陰極，制備各類金屬及其合金、非金屬單層膜、多層膜和摻雜膜系；
廣泛應用于半導體、微電子、材料等相關工業應用領域；

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